一种超高纯氙、氪纯化系统.pdfVIP

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  • 2023-08-20 发布于四川
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本实用新型属于高纯气体纯化领域,尤其是涉及一种超高纯氙、氪纯化系统。采用纯化系统包括原料气钢瓶,原料气钢瓶中存储有原料气,原料气钢瓶连接加热室,加热室外设有保温层,保温层外设有加热层,加热室连接催化室底部,催化室内有催化剂,催化室连接吸附室,吸附室内设有第一隔板,将吸附室隔成迷宫状通道,吸附室内设有吸附剂,吸附室连接吸气室,吸气室内设有金属吸气室,吸气室内设有第二隔板,将吸气室隔成迷宫状通道,吸气室连接分析仪,各部件之间通过带有阀门的气流管路连接,本实用新型结合催化氧化、化学反应、物理吸附三种原

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210150729 U (45)授权公告日 2020.03.17 (21)申请号 20192

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