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基于不同溅射功率的ITO衬底上的AZO薄膜的研究 TOC \o 1-3 \u 摘 要 ① Abstract ② 1 绪论 3 1.1 引言 3 1.2 AZO薄膜的性质 3 1.2.1 AZO薄膜的结构 4 1.2.2 AZO薄膜的导电机理及电学性质 4 1.2.3 AZO薄膜的光学性质 5 1.2.4 AZO薄膜主要成分（ZnO)性质分析 5 1.3 制备方法 6 1.4 射频磁控溅射法简介 6 1.4.1 射频溅射使用交流电源而不是直流电源的原因 7 1.4.2 射频溅射的基本原理 7 1.4.3 射频电场对于靶材的自偏压效应 8 1.5