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本申请公开了一种全口径薄膜沉积夹具,涉及工装夹具的技术领域,以解决现有技术中的镀膜表面质量较差的技术问题。本申请的全口径薄膜沉积夹具包括第一固定座、第二固定座和调整杆,第一固定座具有第一贯穿孔;第二固定座具有第二贯穿孔,第一固定座与第二固定座连接;以及调整杆设置于第二贯穿孔内,其中,第一贯穿孔用以容置待加工件,并借由调整杆固定待加工件。故本申请通过第一固定座、第二固定座和调整杆来夹持待加工件,既可以实现待加工件的底面的全口径薄膜沉积,也可以避免待加工件的侧面的薄膜沉积,从而可以精准地进行薄膜沉积
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210176947 U
(45)授权公告日
2020.03.24
(21)申请号 20192
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