一种旋转叉臂.pdfVIP

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2023-08-22 发布于四川
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一种旋转叉臂.pdf

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本实用新型提供一种旋转叉臂，包括叉臂和加热模块，叉臂包括传动臂和承载环，加热模块包括导热单元和控温单元。通过叉臂上的环形承载环对晶圆进行支撑，提高晶圆与叉臂之间的接触面积，同时可以稳定的移动晶圆。并在取晶圆时，可以通过加热模块对承载环进行预先加热，达到退火时晶圆的温度，避免承载环宇晶圆之间温差较大造成破片，且通过控温单元对导热单元进行逐级的降温，达到晶圆自然降温的效果，而不会因为环境的温差而造成破片，提高了晶圆退火后的生产良率，以及生产效率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210182354 U (45)授权公告日 2020.03.24 (21)申请号 20192