晶圆图的分类方法及装置.pdfVIP

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2023-08-23 发布于四川
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晶圆图的分类方法及装置.pdf

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本申请提供一种晶圆图的分类方法及装置，涉及计算机技术领域，该方法包括：利用第一数据集中的第一数据对初始预训练模型进行训练，以得到预训练模型；基于所述预训练模型，对第二数据集中的第二数据进行筛选，以确定伪标签数据；基于至少包含所述伪标签数据的训练集对晶圆图分类模型进行训练，以得到训练后的晶圆图分类模型；基于所述训练后的晶圆图分类模型，对所述预训练模型进行更新；基于所述第二数据集中除伪标签数据外的其余第二数据，返回执行基于所述预训练模型，对第二数据集中的第二数据进行筛选，以确定伪标签数据的步骤，直至

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116630701 A (43)申请公布日 2023.08.22 (21)申请号 202310577486.4 (22)申请日 2023.05.22 (71)申请人东方晶源微电子科