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超纯水生产设施及更换离子交换树脂的方法.pdfVIP

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  • 2023-08-23 发布于四川
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超纯水生产设施及更换离子交换树脂的方法.pdf

    一种超纯水(UPW)生产设施，包括：抛光器，填充有离子交换树脂；流入管线；流入阀，连接到流入管线和抛光器的上游；流出管线；流出阀，连接到流出管线和抛光器的下游；第一排水管线，连接到抛光器；第一排水阀，连接到第一排水管线和抛光器下游；第二排水管线，从流出管线分支；第二排水阀，连接到第二排水管线；排放管线，从第二排水管线分支；排放阀，连接到排放管线，其中，流入阀、流出阀、第一排水阀、第二排水阀和排放阀为自动阀。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116621275 A (43)申请公布日 2023.08.22 (21)申请号 202310126476.9 B01J 49/60 (2017.01)

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