原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本申请提供了一种一体化晶圆蓝膜覆膜机及其控制系统，包括机架，机架上分别设有用于存放贴膜完成的晶圆的CST上下料总成、用于添加待加工晶圆的铁环上料总成和对晶圆进行贴膜的贴膜放卷模组；CST上下料总成，包括用于存放晶圆的料仓，料仓上设有支撑隔板，料仓的入料口设有直线模组；铁环上料总成包括铁环上料料仓和二次定位模组，铁环上料料仓上方设有铁环上料机械手；贴膜放卷模组包括贴膜通道，贴膜通道上方依次悬置安装有放卷机构和收卷机构，放卷机构和收卷机构之间设有切膜组件。本申请仅仅需要人工将待加工的晶圆放置到铁环上
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116631906 A
(43)申请公布日 2023.08.22
(21)申请号 202310504000.4
(22)申请日 2023.05.06
(71)申请人 深圳市利和兴股份有限公司
地址
文档评论（0）