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本发明涉及一种基于双向热膨胀流的MEMS陀螺，属于惯性测量领域。该陀螺主要包括基底层、敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有相互平行的三组加热器和两对平行的热敏电阻，在加热器和热敏电阻的下方设置有悬空的绝缘电阻桥；基底层上表面刻蚀有“工”字形腔体；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明采用MEMS加工工艺制作，具有体积小、成本低、可批量生产等优点。基于这些优点它可以广泛应用于电子设备、航天及医学仪器等领域。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116625345 A
(43)申请公布日 2023.08.22
(21)申请号 202310667965.5
(22)申请日 2023.06.07
(71)申请人 北京信息科技大学
地址 1001
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