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一种体声波谐振器及包括其的电子设备.pdfVIP

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  • 2023-08-23 发布于四川
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一种体声波谐振器及包括其的电子设备.pdf

    本实用新型提供一种体声波谐振器及包括其的电子设备，体声波谐振器包括：衬底；空腔，空腔形成在衬底中或衬底上；谐振结构，谐振结构包括设置于空腔上方的下电极、压电层和上电极；空腔、下电极、压电层和上电极之间重叠的区域定义为体声波谐振器的谐振区域；键合结构，键合结构形成在衬底上，其所在的区域定义为键合区域；非谐振区域，位于谐振区域和键合区域之间；空腔从谐振区域延伸到键合区域与非谐振区域的交界处；空腔中设置有不影响空腔中气流流通性的支撑柱。本实用新型有助于提高体声波谐振器的可靠性和使用寿命。

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219577028 U (45)授权公告日 2023.08.22 (21)申请号 202223309745.5 (22)申请日 2022.12.09 (73)专利权人 苏州汉天下电子有限公司 地址

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