弯液面约束电沉积微区湿度控制装置及其使用方法.pdfVIP

下载本文档

2
0
约1.3万字
约 12页
2023-08-23 发布于四川
举报
版权申诉

弯液面约束电沉积微区湿度控制装置及其使用方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明弯液面约束电沉积微区湿度控制装置及其使用方法，属于定域电化学沉积技术领域，包括湿度控制系统、喷管系统及阴极系统，使用方法包括步骤一、阴极系统准备、步骤二、喷管系统准备、步骤三、安装喷管系统、步骤四、准备加湿室、步骤五、准备工作室、步骤六、连接加湿室与工作室、步骤七、沉积操作及步骤八、沉积完成，取出样件；本申请采用加湿室和工作室的双结构并安装蛇形缓冲板，使得沉积过程中金属阳离子的浓度均衡，沉积速率稳定，获得高质量的微纳结构件；加湿器、加湿室及工作室之间的管道上均设置有湿空气气体泵和气体流量计

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116623257 A (43)申请公布日 2023.08.22 (21)申请号 202310613991.X (22)申请日 2023.05.29 (71)申请人长春理工大学