一种精密的激光一分多光路蚀刻设备.pdfVIP

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2023-08-23 发布于四川
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一种精密的激光一分多光路蚀刻设备.pdf

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本发明公开了一种精密的激光一分多光路蚀刻设备，涉及激光蚀刻技术领域，包括基座、定位组件和激光组件，所述基座的上方中部安装有减速电机，且减速电机的输出轴上侧安装有工作台，所述定位组件安装于工作台的外侧，且定位组件包括固定板、电动推杆、推板、轴座、旋转轴、被动齿轮、连接杆和定位板，所述固定板固定于工作台的外部四周，且固定板的一侧安装有电动推杆，所述电动推杆的顶端固定有推板，且推板靠近工作台中心线的一侧固定有轴座。该精密的激光一分多光路蚀刻设备，定位组件便于分别调整三组旋转轴、连接杆以及三个定位板的位

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116618848 A (43)申请公布日 2023.08.22 (21)申请号 202310849209.4 (22)申请日 2023.07.12 (71)申请人苏州迈科芯纳智能科技有限公司地址