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本申请提供一种硅片的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：在硅片的一个或两个表面制备正金字塔绒面，在具有正金字塔绒面的硅片上制备掩膜，采用化学机械抛光工艺去除正金字塔塔顶处的掩膜，对去除了正金字塔塔顶处掩膜后的硅片进行刻蚀，以制备倒金字塔绒面。本申请的方法使用化学机械研磨去除金字塔塔尖，可以彻底消除金刚线切割线痕，减少了硅片表面的高低差；同时硅片的制备过程中对基底无损伤，可以形成良好的钝化，从而可以提高太阳能电池的效率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116632111 A
(43)申请公布日 2023.08.22
(21)申请号 202310583001.2
(22)申请日 2023.05.22
(71)申请人 隆基绿能科技股份有限公司
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