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本发明公开了一种用于圆筒形样品的安装夹具及其使用方法,夹具包括内孔夹具和外圆夹具,内孔夹具包括底座和支撑夹持组件,支撑夹持组件设置在底座上,用于夹持样品的内周;外圆夹具包括安装座,安装座上设有移动限位组件和多个支座,支座用于辅助移动限位组件对样品的外周进行夹持。本发明具有结构紧凑、装夹稳定可靠、有利于缩小靶台倾角范围且注入区域与夹具互不干涉等优点,解决了因圆筒形样品的直径范围大而需要多种传统套筒类夹具造成的混乱、冗余等问题,并解决了夹具设计、配合不合理而导致靶台偏置角度过大、注入区与夹具相互干涉
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116619268 A
(43)申请公布日 2023.08.22
(21)申请号 202310587001.X
(22)申请日 2023.05.23
(71)申请人 北京烁科中科信电子装备有限公司
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