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本申请公开了一种惯性传感器，包括：衬底；第一可动质量块，位于衬底上方；第二可动质量块，位于第一可动质量块上方；以及设置于第一可动质量块上的检测电极，该检测电极与第二可动质量块形成检测电容，在外界出现加速度时检测电容的电容变化差值是相同面积下的单层可动质量块的惯性传感器的电容变化差值的两倍，在不增加惯性传感器的面积的同时提高了惯性传感器的灵敏度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210222061 U
(45)授权公告日
2020.03.31
(21)申请号 20192
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