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本实用新型公开了一种新型4寸磷扩石英舟,涉及石英舟领域,针对现有的磷扩后结深的均匀度不够的问题,现提出如下方案,其包括底座,所述底座的顶部开设有等距设置的连通孔,所述底座顶部两侧的边缘处均固定有横梁,两个所述横梁的两端之间均固定有竖向设置的横板,且横板与底座固定连接,两个所述横板相互靠近的一侧均开设有矩形口,两个所述横板相互远离的一侧均连接有固定在底座上的罩壳,所述罩壳的内部设有开设在底座上的气孔,本实用新型,在各部件的共同作用下,使其在炉管中各部分接触气体的氛围一致,使晶片在磷扩时扩散速度一致
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210194037 U
(45)授权公告日
2020.03.27
(21)申请号 20192
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