带真空视窗的风淋室门及风淋室.pdfVIP

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  • 2023-08-25 发布于四川
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本实用新型属于洁净设备技术领域,尤其涉及一种带真空视窗的风淋室门及风淋室,其中,带真空视窗的风淋室门包括门体和真空视窗,所述门体上开设有窗口;所述真空视窗设置有抽真空气孔,且所述真空视窗的形状与所述窗口的形状相适配,所述真空视窗安装固定于所述窗口内。本实用新型的带真空视窗的风淋室门及风淋室中,可以通过对真空视窗进行抽真空,从而使得真空视窗内处于真空状态,如此,在风淋室使用的过程中即使出现风淋内部与洁净仓内侧、洁净仓外侧形成不同温湿度的过渡,也不会导致真空视窗产生结露、起雾的现象,进而可以保证工作

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210207909 U (45)授权公告日 2020.03.31 (21)申请号 20192

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