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TEA CO2激光器及其光栅调谐自动控制系统的实验研究的中期报告 摘要： 本研究针对TEA CO2激光器及其光栅调谐自动控制系统进行了实验研究。首先对TEA CO2激光器的工作原理进行了简要介绍，并对激光器实验平台进行了设计和搭建。然后利用TEA CO2激光器产生的激光束完成对灵敏度高的电子束样品的载流子注入及传输等过程的实验验证。接着，针对TEA CO2激光器的光栅调谐自动控制系统进行了研究，并设计了基于单片机控制的调谐自动控制系统。最后，通过实验验证了该系统的稳定性和可靠性。 关键词：TEA CO2激光器；光栅调谐自动控制系统；单片机控制；稳定性；可靠性。 Abstract: This research focuses on the experimental study of TEA CO2 laser and its grating tuning automatic control system. Firstly, the working principle of TEA CO2 laser is briefly introduced, and the experimental platform of the laser is designed and built. Then, the laser beam generated by TEA CO2 laser is used