原创力文档- 2
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- 2023-08-25 发布于四川
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本实用新型涉及一种真空反应室上的可视窗结构，包含设置在真空反应室侧壁上的窗口、设置在窗口外侧的凹槽、设置在凹槽内且位于窗口外圈的密封槽、设置在密封槽内的橡胶密封圈、部分可置于凹槽内的框架、焊接或粘接在框架内的石英玻璃；所述框架的外侧四周设置有连接边；所述连接边通过多颗螺栓固定在真空反应室侧壁上；本实用新型通过将石英玻璃直接安装在框架内，不仅拆卸更加方便，且安装过程中，石英玻璃不会产生位置偏移，密封性更好，并且由于受到框架的保护，拆装过程中能防止石英玻璃受到损伤，提高了使用寿命。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210206763 U
(45)授权公告日
2020.03.31
(21)申请号 20192
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