原创力文档- 2
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- 2023-08-25 发布于四川
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本实用新型涉及晶体生长设备上采用的波纹管组件，具体地说是一种具有防烫护筒的晶体生长设备用波纹管组件，包括上端法兰、下端法兰、波纹管及石墨拖杆，其中波纹管连接于所述上端法兰与下端法兰之间，所述石墨拖杆由该下端法兰、波纹管及上端法兰穿过；所述波纹管内部与石墨拖杆之间设有防止溅落出来的硅液接触到波纹管内壁的防烫护筒，该防烫护筒分为依次连接的多节，各节之间可相对伸缩，上端第一节与下端第一节分别与所述上端法兰、下端法兰连接。本实用新型在波纹管内部加装了防烫护筒，确保高温硅液溅落出来不会直接碰到波纹管内壁，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210215621 U
(45)授权公告日
2020.03.31
(21)申请号 20192
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