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本发明公开一种集成电路ATE设备校准方法，属于集成电路测试设备领域。先对校准球进行选取并进行校准球程序的生成；再使用校准球程序验证ATE设备稳定性。本发明在校准球程序生成的基础上进一步提出ATE设备校准，将校准球的使用与测试设备、测试品种、测试人员、测试数据结合起来，全面准确快速判断测试设备的稳定性和测试结果的准确性。在集成电路人工小批量测试和大批量自动化机械手测试中，本方法通过制作测试校准球，并利用校准球来进行ATE设备的校准，是对ATE设备稳定性分析的一个重要方法，可以更加全面准确快速的解决
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116643226 A
(43)申请公布日 2023.08.25
(21)申请号 202310598102.7
(22)申请日 2023.05.25
(71)申请人 中国电子科技集团公司第五十八研
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