一种微米级三维形貌测量仪.pdfVIP

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  • 2023-08-26 发布于四川
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本实用新型涉及表面形貌测量设备领域,具体地说,涉及一种微米级三维形貌测量仪,其包括载物平台以及载物台角度调节装置;载物台角度调节装置包括安装基台,安装基台的上表面设有与载物平台间隙配合的安装台阶,安装基台内设有调节机构安装腔,安装台阶的底面的四个边角处设有通孔,载物平台下方设有与通孔间隙配合的第一安装柱,第一安装柱上设有外螺纹,调节机构安装腔中可转动的底端固定在调节机构安装腔底壁的第一转轴;第一转轴的上方设有位于通孔内的第二安装柱,第二安装柱上设有盲孔,盲孔的内壁上设有与外螺纹相配合的内螺纹;调

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210219174 U (45)授权公告日 2020.03.31 (21)申请号 20192

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