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本实用新型公开了一种硅片脱胶装置，包括处理箱，所述处理箱的顶部为开口端，所述处理箱的前后内壁滑动连接有放置架，所述放置架内开设有放置卡槽，所述处理箱的顶部设置有提升机构，所述处理箱的一侧设置有回收机构，放置卡槽之间设置有冲洗机构。有益效果在于：设置了提升机构和冲洗机构，通过提升机构将放置架提升到一定高度后，利用流动水对硅片进行冲洗，将表面粘附的胶冲掉，提高脱胶效果；冲洗机构包括喷淋管，喷淋管均匀的设置在放置架之间，在保证冲洗效果的同时还不会影响硅片的取放；设置了回收机构，回收机构包括滤网，通过滤
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219581202 U
(45)授权公告日 2023.08.25
(21)申请号 202320707814.3
(22)申请日 2023.04.03
(73)专利权人 山西东明光伏科技有限公司
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