电子科大薄膜物理赵晓辉薄膜表征课件.pptVIP

第七章 薄膜的表征 材料表征方法? 物理性能表征X-ray diffraction X射线衍射 (XRD)Transmission electron microscopy透射电镜 (TEM)Optical microscopy 光学显微镜Scanning electron microscopy 扫描电镜 (SEM)Atom force microscopy 原子力显微镜(AFM)Secondary ion mass spectroscopy二次离子质谱 (SIMS)? 电学性能测试Van der Pauw Hall 霍尔效应Capacitance-voltage (C-V)? 光学性能测试Ph