一种硅片丝网印刷用吸附组件.pdfVIP

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2023-08-26 发布于四川
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一种硅片丝网印刷用吸附组件.pdf

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本发明公开了一种硅片丝网印刷用吸附组件，关于硅片生产技术领域，包括壳体，壳体内设置有支腿，所述支腿的上端设置有传送组件，硅片丝网印刷用吸附组件还包括静电吸附组件、摩擦块、静电检测系统、静电去除组件，传送组件的上端还设置有与静电吸附组件相匹配的静电吸附板，摩擦块与静电吸附板相匹配，摩擦块位于传送组件的下端，静电检测系统用于检测硅片表面静电的大小，静电检测系统还包括静电补偿系统，静电补偿系统用于对硅片的表面静电大小进行补偿，静电去除组件设置在传送组件远离静电吸附组件的一端，用于消除硅片上的静电。与现

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116638855 A (43)申请公布日 2023.08.25 (21)申请号 202310585443.0 (22)申请日 2023.05.23 (71)申请人江苏龙恒新能源有限公司地址 2