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一种化学机械研磨冷却装置.pdfVIP

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  • 2023-08-26 发布于四川
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一种化学机械研磨冷却装置.pdf

    本实用新型公开了一种化学机械研磨冷却装置，包括：研磨头；冷却水入口，所述冷却水入口从所述研磨头的上面中间接入；冷却水出口，所述冷却水出口从所述研磨头的上面中间接出；以及冷却水通路，所述冷却水通路紧邻研磨头的研磨面设置，所述冷却水通路与所述冷却水入口、所述冷却水出口构成循环通路。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210210008 U (45)授权公告日 2020.03.31 (21)申请号 20192

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