二流体蚀刻装置.pdfVIP

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2023-08-26 发布于四川
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二流体蚀刻装置.pdf

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本实用新型涉及一种二流体蚀刻装置，包括输送机构、喷嘴模组和调节模组。输送机构用于沿输送方向输送待蚀刻基板，至少两个蚀刻区沿输送方向布置，喷嘴模组包括沿输送方向布置的至少两个喷嘴，每一蚀刻区内设有至少一个喷嘴，调节模组包括至少两个能够独立控制的调节阀，同一蚀刻区内的喷嘴连接于同一调节阀，以通过调节阀调整喷嘴的液气比例。以上二流体蚀刻装置，每一蚀刻区内的喷嘴可以按需求控制液气比例，实现每一蚀刻区在一流体蚀刻状态和二流体蚀刻状态之间的切换，从而可在加工过程中，灵活地调整蚀刻区的蚀刻状态，调整一流体蚀刻

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219592728 U (45)授权公告日 2023.08.25 (21)申请号 202321233213.X (22)申请日 2023.05.19 (73)专利权人深圳藤淦科技有限公司地址 5