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一种基于迈克尔逊干涉原理的微压力测量装置.pdfVIP

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  • 2023-08-26 发布于四川
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一种基于迈克尔逊干涉原理的微压力测量装置.pdf

    本实用新型公开了一种基于迈克尔逊干涉原理的微压力测量装置，包括封闭的外壳，外壳上部具有压力导入接口，外壳内具有弹性膜片，弹性膜片与外壳底部之间为测量区，该测量区内悬空固定有反射镜，反射镜的镜面上安装有分束镜，测量区内的外壳内壁上安装有激光器，激光器朝向分束镜，激光器底部设置有摄像头。与现有技术相比，本实用新型的一种基于迈克尔逊干涉原理的微压力测量装置，通过干涉条纹的位移反演弹性膜片的位移，从而计算出气体的压力，具有精度高，灵敏度高，结构简单，被测气体和测量装置隔离的优点。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210221371 U (45)授权公告日 2020.03.31 (21)申请号 20192

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