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本发明提供的一种防倒吸的真空吸盘及真空吸附晶圆夹具，包括真空吸盘本体，所述真空吸盘的上端开设有轴向布置的气道，所述气道的一端与外接设备连接，另一端与真空吸盘本体下端开设的圆盘状气道连通；所述真空吸盘本体上还设置有防倒吸水气道，所述防倒吸水气道置于真空吸盘本体下端开设的圆盘状气道的外侧；所述防倒吸水气道上设置有出气口，该出气口与气道连通，能够有效地解决现有晶圆的真空吸盘吸附式固定存在电解液及抛光浆倒吸渗入装置内部的缺陷。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116638540 A
(43)申请公布日 2023.08.25
(21)申请号 202310666723.4
(22)申请日 2023.06.06
(71)申请人 西安交通大学
地址 710049
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