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本实用新型实施例公开了一种多瓣石墨坩埚，包括多块相同的瓣体，多块所述瓣体两两相连构成埚体，并且相邻的两块瓣体之间形成有接缝，所述石墨坩埚的接缝处嵌入有保护垫，所述保护垫设置在石墨坩埚底部边缘的圆角处。本实用新型实施例通过在石墨坩埚的接缝内，位于底部上容易发生断裂的圆角处嵌入保护垫片，使得石墨坩埚在高温工作时原本会经过整个接缝处的气体被阻挡在保护垫片上，从而让坩埚在使用后不会整个接缝边缘都发生氧化(仅保护垫片内侧会有氧化现象)，从而在保证热场能够正常运作的基础上，有效解决石墨坩埚在高温下与硅蒸气、
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210237842 U
(45)授权公告日
2020.04.03
(21)申请号 20192
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