- 1、本文档共6页,其中可免费阅读5页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本实用新型实施例公开了一种多瓣石墨坩埚,包括多块相同的瓣体,多块所述瓣体两两相连构成埚体,并且相邻的两块瓣体之间形成有接缝,所述石墨坩埚的接缝处嵌入有保护垫,所述保护垫设置在石墨坩埚底部边缘的圆角处。本实用新型实施例通过在石墨坩埚的接缝内,位于底部上容易发生断裂的圆角处嵌入保护垫片,使得石墨坩埚在高温工作时原本会经过整个接缝处的气体被阻挡在保护垫片上,从而让坩埚在使用后不会整个接缝边缘都发生氧化(仅保护垫片内侧会有氧化现象),从而在保证热场能够正常运作的基础上,有效解决石墨坩埚在高温下与硅蒸气、
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210237842 U
(45)授权公告日
2020.04.03
(21)申请号 20192
您可能关注的文档
最近下载
- 环境、职业健康安全法律法规文件清单(更新至21805).doc VIP
- 3.星罗棋布的海岛(四年级海洋教育)教学教案.ppt
- 材料供货及配送项目 投标方案.doc
- 剑桥商务英语证书考试(BEC)高级题库【历年真题+章节题库+模拟试题】第一部分 历年真题剑桥商务英语证书.pdf VIP
- 童话绘本故事《青蛙王子》.pptx VIP
- Q/GDW 11798.2-2018- 输变电工程三维设计技术导则.第2部分:架空输电线路.pdf
- 南方灌区生态节水工程建设与管理模式_高邮 河海中国节水.ppt
- 苏宁易购2021-2023年度财务报表分析.docx
- 女频穿越种田小说大纲分享【可编辑范本】.docx VIP
- 标准图集-青2013G02-管沟及盖板图集.pdf
文档评论(0)