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本实用新型实施例公开了一种石墨加热器,应用于单晶炉的加热,包括加热器本体,所述加热器本体的外壁上设有多个开槽,所述开槽的槽底为圆弧形,取开槽槽底的半径为R,取开槽的槽宽为W,则R大于W/2。本实用新型通过对现有设有开槽的加热器进行改进,在不改变槽宽的情况下,将相当于槽宽的槽底半径增大,使槽底附近的电流路径长度增加,缩小槽底附近的电流路径与远离槽底的电流路径长度差异,从而降低槽底处的电流密度,在保证热场能够正常运作的基础上,有效解决了加热器的槽底由于电流密度大,在工作时消耗会比其它部位更严重的现象
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210247079 U
(45)授权公告日
2020.04.03
(21)申请号 20192
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