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本实用新型公开了一种脱泡机存放架及脱泡机,属于脱泡机领域。一种脱泡机存放架,包括至少两个挡板、至少两个连接杆与底座,两个相邻所述挡板相对竖直设置,所述挡板表面设有保护层;所述连接杆垂直连接两个相邻所述挡板,所述底座安装于所述挡板的底部;一种脱泡机,包括机箱外壳、反应炉、滑轨与存放架,反应炉设置于机箱外壳内部,滑轨水平安装于所述反应炉内,存放架安装于所述反应炉内。与现有的堆叠方式相比,通过本实用新型的存放架放置基板,可以避免基板划伤;本实用新型的脱泡机内部设置存放架,提高了除泡效率,改善了除泡效果
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210229211 U
(45)授权公告日
2020.04.03
(21)申请号 20192
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