一种超纯氩纯化装置.pdfVIP

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  • 2023-08-29 发布于四川
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本实用新型公开了一种超纯氩纯化装置,包括两个原料气供给系统、纯化系统以及两个产品气充装系统,两个原料气供给系统并联连接至纯化系统,每个原料气供给系统包括设于同一集装格中的若干储气瓶,两个产品气充装系统并联连接至纯化系统,其中一个产品充装系统包括若干充气瓶A,另一个产品充装系统包括设于同一集装格中的若干充气瓶B,纯化系统包括凝胶过滤单元和碱性洗涤单元。本实用新型通过设置凝胶过滤单元,可以脱除原料气中的一氧化碳,通过设置碱性洗涤单元,可以洗去原料气中的二氧化碳。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210251544 U (45)授权公告日 2020.04.07 (21)申请号 20192

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