一种用于拉制单晶硅棒的拉晶炉.pdfVIP

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本发明公开了一种用于拉制单晶硅棒的拉晶炉,包括:熔晶炉、拉晶炉,所述拉晶炉设置在所述熔晶炉顶部,所述拉晶炉底部与所述拉晶炉顶部连通,所述熔晶炉内设置有坩埚,所述坩埚安装在旋转机构顶部,所述旋转机构底部安装在熔晶炉底面,所述坩埚顶部设置有防硅跳组件,所述拉晶炉顶部设置有提拉机构,所述提拉机构用于将坩埚内熔融状态的硅向上牵引在拉晶炉内形成硅棒,所述拉晶炉内设置有塑形机构,所述塑形机构设置在坩埚上部,所述塑形机构用于对提拉机构上拉熔融状态的硅进行塑形;用以避免坩埚内发生硅跳对拉晶炉造成的危害。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116657236 A (43)申请公布日 2023.08.29 (21)申请号 202310649445.1 (22)申请日 2023.06.02 (71)申请人 曲靖阳光新能源股份有限公司 地址

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