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器件包括被制造在公共基底上的三个元件。第一元件包括具有支持第一光模的至少三个子层的有源波导结构。第二元件具有支持第二光模的无源波导结构,且被对接耦合到第一元件的第三元件具有支持中间光模的中间波导结构。在有源波导结构中的一个子层包括n型接触接触层,另一子层包括p型接触层,且第三子层包括有源区域。在第二元件和第三元件中的至少一者中的锥形波导结构有助于在第二光模和中间光模之间的有效绝热转换。在该中间光模和第一光模之间不发生绝热转换。通过使用光刻对齐标记来限定三个元件的相互对齐,所述光刻对齐标记有助于在
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116661062 A
(43)申请公布日 2023.08.29
(21)申请号 202210600078.1
(22)申请日 2022.05.30
(30)优先权数据
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