一种硅电极表面抛光设备及抛光方法.pdfVIP

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2023-08-30 发布于四川
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一种硅电极表面抛光设备及抛光方法.pdf

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一种硅电极表面抛光设备及抛光方法，属于硅电极加工技术领域，包括机体，机体上设有抛光平台，抛光平台上设有用于夹持硅电极的夹持组件，夹持组件的上方设有用于对硅电极表面抛光的抛光组件；夹持组件包括重力传感器以及转动设于抛光平台上的底座，底座的中间位置设有用于支撑硅电极的支撑座，支撑座的上方设有夹持安装环，夹持安装环内端面设有伸缩夹持件，且底座的上阵列设有多组支撑件，且支撑件中有一组和夹持安装环的下端面铰接，在初始状态时，多组支撑件的上表面均触接于夹持安装环的下表面；本发明保障了硅电极的重心与夹持安装环

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116652791 A (43)申请公布日 2023.08.29 (21)申请号 202211392897.8 (22)申请日 2022.11.08 (71)申请人杭州盾源聚芯半导体科技有限公司地