原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供一种重载精密型多维位姿调控系统，包括：搭载台；第一负载调节装置，第一负载调节装置包括第一底座、第一升降驱动机构、第一Z向升降台、第一Y向平移组件以及第一X向平移组件；第二负载调节装置，第二负载调节装置包括第二底座、第二升降驱动机构、第二Z向升降台、第二Y向平移组件、第二X向平移组件以及第二X向驱动机构；第三负载调节装置，第三负载调节装置包括第三底座、第三升降驱动机构、第三Z向升降台、第三X向平移组件、第三X向驱动机构、第三Y向平移组件以及第三Y向驱动机构。本发明能够对腔体系统沿X轴方向
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116658775 A
(43)申请公布日 2023.08.29
(21)申请号 202310645358.9
(22)申请日 2023.06.01
(71)申请人 上海科技大学
地址 201210
文档评论（0）