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- 2023-08-30 发布于四川
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本发明公开了一种采用有机油溶剂保护的利用酸溶剂刻蚀获得具有大开口面积比的喇叭口状的MCP的方法。在常规微通道板的腐蚀工序之后，微通道板的孔状通道阵列已完成，此时，增加一个有机油溶剂保护的酸溶液刻蚀的步骤，在一定量的酸溶液上加入密度更低的有机油溶剂得到分层的混合溶液，将MCP的输入面朝下放入混合溶液中，利用有机油溶剂保护MCP输入面外的部分，利用酸溶液对混合界面处的MCP输入端通道进行无定向的扩口腐蚀，由此可在MCP输入面获得喇叭口状的扩口结构。通过该方法得到的喇叭口通道能有效增加入射到通道内的电
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114988710 A
(43)申请公布日 2022.09.02
(21)申请号 202210534196.7 H01J 9/02 (2006.01)
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