冷却集成的氮化镓模块及其制备方法.pdfVIP

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2023-08-30 发布于四川
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冷却集成的氮化镓模块及其制备方法.pdf

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本申请涉及一种冷却集成的氮化镓模块及其制备方法，冷却集成的氮化镓模块包括：管壳底板，包括层叠设置为一体的第一底板、第二底板以及第三底板，第一底板开设有进液孔、出液孔，第二底板包括歧管状的第一流体槽，第三底板开设有至少一个第二流体槽，第一流体槽分别与进液孔、出液孔、第二流体槽相连通；至少一芯片，芯片包括衬底，衬底具有歧管式微流道，芯片封装于第三底板，且微流道与第二流体槽相连通，配合构成冷却液体拓扑状流通途径，换热效率较高，提高单个芯片温度的均匀性，冷却液体在多个第二流体槽分流并对芯片进行一一换热，

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116666329 A (43)申请公布日 2023.08.29 (21)申请号 202310485847.2 (22)申请日 2023.04.28 (71)申请人浙江大学杭州国际科创中心地址