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本发明涉及一种用于振动辅助划痕测试的装置与方法，属于精密测试领域。振动辅助划痕测试装置主要由龙门架、z轴电机平台、精密加载模块、精密测量模块、压头、振动辅助模块、x轴电机平台、y轴电机平台和底座组成。在振动辅助划痕测试方法中，首先将待测试样粘贴到载物台上，然后控制z轴电机平台下压使压头接触到试样，之后抬起脱离接触同时运动y轴电机平台使压头与接触压痕错开，再控制精密加载模块加载到指定划痕载荷，控制振动辅助模块按照设定的振幅频率进行振动同时控制x轴电机平台按设定速度进行划痕测试，最后控制精密加载模块
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116660072 A
(43)申请公布日 2023.08.29
(21)申请号 202310502844.5 G01N 19/02 (2006.01)
(22)申请日 2023.05.
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