与晶圆级制备设备对接的旗形样品架原位转移装置.pdfVIP

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2023-08-30 发布于四川
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与晶圆级制备设备对接的旗形样品架原位转移装置.pdf

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本发明提供了一种与晶圆级制备设备对接的旗形样品架原位转移装置，其包括均处于超高真空腔体内的储样设备、样品架、磁力传样杆、Y形晶圆架和样品生长台；储样设备包括金属圆片；样品架插槽设在金属圆片上且与金属圆片按照设计位置相互固定连接；样品架插槽由一对彼此平行布置的插板以及固设在一对插板一端端部的夹片组成；对于送入储样设备的样品，可被夹片固定在金属圆片的圆心到边缘之间任意位置；样品架插装于样品架插槽中。本发明通过在金属圆片上加设样品架插槽，使其上的样品可以对晶圆级基底任意位置的薄膜生长情况进行反馈，同时

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116666267 A (43)申请公布日 2023.08.29 (21)申请号 202310507570.9 (22)申请日 2023.05.08 (71)申请人北京理工大学