原创力文档- 12
- 0
- 约1.18万字
- 约 11页
- 2023-08-31 发布于四川
- 举报
本实用新型提供的装载平台限位装置，包括：限位柱，所述限位柱位于所述装载平台上；限位块，所述限位块位于所述装载平台上，所述限位块为柱体，所述限位块的截面包含上部倾斜边和下部竖直边，所述上部倾斜边和所述下部竖直边相邻，所述上部倾斜边和所述下部竖直边呈夹角为滑入内角，所述滑入内角为钝角；所述下部竖直边的高度大于或等于所述限位柱的高度。据此，晶圆盒从天车系统的6m高度投放时，晶圆盒先接触限位块，限位块组成的Y型结构能够对晶圆盒起到预先校准和导向的作用，从而晶圆盒能够准确的放置到设计的位置，并能够平稳的同
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210272296 U
(45)授权公告日
2020.04.07
(21)申请号 20192
文档评论（0）