原创力文档- 3
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- 2023-08-31 发布于四川
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本实用新型是关于一种具有防呆装置的晶圆载片清洗治具，其包含：能分离地叠合的两放置架，各放置架包含外环壁、放置单元及防呆部，放置单元排列受外环壁围绕，各放置单元包含周壁及周壁围成的容置空间，防呆部包含多个卡合凸块，其凸设在外环壁，卡合凸块能与输送该放置架的一传动装置相卡合；为改善现有的技术晶圆清洗装置的缺失，实用新型的防呆部能和传动装置相卡合，避免放置架在受传动装置输送时滑移或晃动，提升放置架的输送稳定度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210272284 U
(45)授权公告日
2020.04.07
(21)申请号 20192
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