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一种降低硅片碎片的上料吸片装置.pdfVIP

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  • 2023-08-31 发布于四川
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一种降低硅片碎片的上料吸片装置.pdf

    本实用新型涉及上料吸片装置技术领域，且公开了一种降低硅片碎片的上料吸片装置，包括支架，所述支架的底部固定安装有底板，所述底板上固定安装有托盘，所述托盘的一侧固定安装有边框，所述边框固定安装在两个传送装置的中部，所述传送装置上活动放置有硅片，所述支架的顶部固定安装有顶板，所述顶板的底部固定安装有机械臂。本实用新型通过将以往的四点吸盘改为整体吸盘，加大吸附力度，改进了以往吸盘的吸力不均衡，避免吸盘因吸附力不均衡造成碎片现象，且对风口进行改进，将以往技术方案中的一孔式吹口改为风刀结构，能够将层叠的硅片

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210272301 U (45)授权公告日 2020.04.07 (21)申请号 20192

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