激光微孔加工的光束扫描系统.pdfVIP

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2023-09-01 发布于四川
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激光微孔加工的光束扫描系统.pdf

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一种激光微孔加工的光束扫描系统，包括光楔组、平板组及聚焦镜；光楔组包括第一光楔及第二光楔，第一光楔的入光面与第二光楔的出光面平行设置，第一光楔的出光面与第二光楔的入光面间隔相对；第一光楔的出光面相对于入光面倾斜设置，第二光楔的出光面相对于入光面倾斜设置；第一光楔及第二光楔能够分别绕第一轴向转动；平板组包括第一平板及第二平板，第一平板的入光面与出光面平行设置，第一平板的出光面与第二平板的入光面间隔相对，第二平板的入光面与出光面平行设置；第一平板及第二平板能够分别绕第二轴向转动。本实用新型能实现大深

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210281075 U (45)授权公告日 2020.04.10 (21)申请号 20192