- 1、本文档共6页,其中可免费阅读5页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本实用新型涉及高通量组合材料制备系统领域,公开了一种高通量分立掩膜装置。该高通量分立掩膜装置包括:基片托架,用于放置基片,所述基片托架通过基片托架升降电机和基片托架旋转电机控制升降和旋转;掩膜机械臂,所述掩膜机械臂通过掩膜机械臂旋转电机控制旋转;掩膜支架,用于放置掩膜片,所述掩膜支架通过掩膜支架升降电机控制升降;所述基片托架,掩膜机械臂和掩膜支架依次置于一个真空腔体内,所述掩膜机械臂在掩膜支架和基片托架之间转动取放掩膜。本实用新型通过掩膜机械臂将原多工位精确定位转化为双工位精确定位,实现精密定位
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210287480 U
(45)授权公告日
2020.04.10
(21)申请号 20192
您可能关注的文档
- 一种库岸消落带生态防护系统.pdf
- 智能低压综合配电箱.pdf
- 一种带储物盒的汽车座椅.pdf
- 一种电车受电弓的固定结构.pdf
- 船用螺旋桨的桨叶及其船用螺旋桨结构.pdf
- MOSFET器件和碳化硅MOSFET器件.pdf
- 不锈钢结构螺旋焊管的成型模具.pdf
- 一种便于散热的整流桥.pdf
- 一种挤压式造纸用原料浸泡装置.pdf
- 一种用于塑料制品快速干燥装置.pdf
- 中国行业标准 GM/T 0126-2023HTML密码应用置标语法.pdf
- 《JJF 2121-2024恒转速源校准规范》.pdf
- 餐饮服务中20条处理要点.docx
- 《GM/T 0011-2023可信计算 可信密码支撑平台功能与接口规范》.pdf
- 《JJF 2134-2024旋转流变仪校准规范》.pdf
- JJF 2121-2024恒转速源校准规范.pdf
- 计量规程规范 JJF 2121-2024恒转速源校准规范.pdf
- 《JJF 2118-2024压力式六氟化硫气体密度控制器校验仪校准规范》.pdf
- JJF 2134-2024旋转流变仪校准规范.pdf
- 计量规程规范 JJF 2134-2024旋转流变仪校准规范.pdf
最近下载
- 2011版课标“字表二 1000字“梳理.docx
- 电动吊篮安拆方案.doc VIP
- 2019中国消化道疾病检查白皮书(医疗).pdf
- 文心一言知识科普.pptx
- 2024年县民政局关于群众身边不正之风和腐败问题集中整治工作的形势分析报告.doc VIP
- 道路施工雨季安全培训.pptx
- (高质)《精神焦虑症的自救》.doc
- 港澳台联考语文满分作文.docx
- 单位办公室定密事项范围一览表式样.doc
- 理想 RISO 9050 7050 3050 7010 3010 闪彩印王中文技术维修手册 后面可以参考理想闪彩印王 EX7200 EX9050 EX9000 EX7250 系列中文维修手册 .pdf
文档评论(0)