电诱导辅助化学机械抛光测试装置.pdfVIP

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2023-09-02 发布于四川
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电诱导辅助化学机械抛光测试装置.pdf

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本实用新型公开了一种电诱导辅助化学机械抛光测试装置，包括：抛光液池、抛光垫、抛光盘、抛光头、驱动器、负电极以及外接电源；所述抛光液池用于盛装抛光电解液，其通过所述抛光盘带动而旋转；所述抛光垫贴合于抛光液池的底壁上；所述抛光头用于固定待抛光的晶片，并通过所述驱动器驱动而与所述抛光垫相对反向旋转，以对晶片进行机械抛光；所述外接电源的正极与所述晶片接通，负极与所述负电极接通。本实用新型的电诱导辅助化学机械抛光测试装置，通过电诱导作用的方式，增强晶片的氧化腐蚀，提高材料去除率，降低晶片抛光的生产成本，改

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210281867 U (45)授权公告日 2020.04.10 (21)申请号 20192