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本实用新型涉及一种芯片架定位压紧装置,包括清洗头组件主体和安装在清洗头组件主体上的永久磁铁、第一弹簧压片和第二弹簧压片,第一弹簧压片和第二弹簧压片分别用于对晶片架上下两侧的限位和固定;清洗头组件主体的一端设有前定位块,另一端设有限位挡块,前定位块和限位挡块分别用于对晶片架两端部的限位;限位挡块能移动,当向清洗头组件主体上放置晶片架或更换晶片架时,限位挡块能进行避让,方便晶片架的抓取和放置。本实用新型一种芯片架定位压紧装置,利用弹簧压片和永久磁铁对晶片架进行压紧和定位,安装和更换晶片架时,利用可以
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210279867 U
(45)授权公告日
2020.04.10
(21)申请号 20192
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