原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本实用新型提供一种刻蚀装置，其包括一刻蚀槽及一磁场产生装置，所述刻蚀槽内能够盛放磷酸刻蚀溶液，所述磁场产生装置能够产生交变磁场，所述交变磁场施加在所述刻蚀槽内的磷酸刻蚀溶液上，以增加刻蚀副产物的运动活性。本实用新型的优点在于，在刻蚀槽内的刻蚀溶液上施加交变磁场，加速刻蚀副产物的运动活性，形成类似搅拌的效果，加速刻蚀副产物的扩散，从而避免刻蚀副产物在隔离层表面沉积而影响后续工艺的进行。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210296317 U
(45)授权公告日
2020.04.10
(21)申请号 20192
文档评论（0）