基板搬运装置及基板搬运装置的控制方法.pdfVIP

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2023-09-03 发布于四川
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基板搬运装置及基板搬运装置的控制方法.pdf

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本发明提供一种基板搬运装置及基板搬运装置的控制方法，即使将结构简化，并且放置能收容多块玻璃基板的盒的第一放置部的高度和第二放置部的高度产生偏差，也能够防止收容在盒中的玻璃基板或盒掉落。在该基板搬运装置(1)中，在盒(3)被放置在第一放置部(5)及第二放置部(6)上之前，通过升降机构(7、8)使由传感器(14)检测到的第一放置部及由传感器(17)检测到的第二放置部一起下降相同的量，直到由传感器检测不到第一放置部(5)并且由传感器(17)检测不到第二放置部，并且，之后，通过升降机构使第一放置部及第二

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111554600 A (43)申请公布日 2020.08.18 (21)申请号 20201