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实施方式涉及一种半导体制造装置及半导体装置的制造方法。根据一个实施方式,半导体制造装置具备衬底保持部,该衬底保持部将多个衬底以所述衬底彼此相互平行地排列的方式保持。所述装置进而具备流体喷射部,该流体喷射部具有多个开口部,且使从所述开口部喷射的所述流体的喷射方向在与所述衬底的表面平行的面内通过自激振荡而变动,所述开口部向与所述衬底的表面相距的距离处于相互邻接的所述衬底间的中心间距离以内的区域,喷射流体。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 110620060 A
(43)申请公布日
2019.12.27
(21)申请号 20191
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